Heidenhain 伺服电源模块UVR 150D ID-Nr. 728 255-01 (P10) SN: 43 320 705
简要介绍：
Heidenhain 伺服电源模块UVR 150D ID-Nr. 728 255-01 (P10) SN: 43 320 705
产品详情
测量原理
测量基准
海德汉光学扫描的直线光栅尺或编码器的
测量基准都是周期刻线－光栅。
这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。对于大
长度的光栅尺，用钢带作为光栅尺基体。
海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制
造精密光栅。
•• AURODUR：在镀金钢尺带上蚀刻栅
线；典型栅距：40 μm
•• METALLUR：抗污染的镀金层金属栅
线；典型栅距：20 μm
•• DIADUR：玻璃基体上超硬铬线（典型
栅距：20 μm）或玻璃基体上三维铬线
格栅（典型栅距：8 μm）
•• SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格
栅；超强抗污能力；典型栅距：不超过
8 μm
•• OPTODUR相位光栅：光学三维平面格
栅，超高反光性能；典型栅距：不超过
2 μm
除极小栅距外，由该工艺刻制的光栅拥有
优异的边缘清晰度和均匀性。结合光电扫
描法，边缘清晰的刻线是输出高质量信号
的关键。
母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线
